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一种双波导缝隙馈波的微波等离子体紫外灯装置设计
论文摘要微波等离子体无极紫外光源是新一代气体放电光源,在污水处理,固化,医药等各方面都有应用。本文设计了一种双波导缝隙馈波的微波等离子体紫外灯的装置,通过开缝的方式将微波馈入半...