物理气相传输方法论文

物理气相传输法制备层状MoS2薄膜
论文摘要以化学气相沉积（CVD）方法在蓝宝石衬底上沉积一层较厚的MoS2膜作为前驱体,使用物理气相传输（PVT）方法制备了层状MoS2薄膜。用光学显微镜、扫描电子显微镜、喇曼光...