无扫描测量论文

基于DMD的光纤多波长干涉仿真
论文摘要形貌测量仪是一种实现物体表面三维形貌和变形测量的设备,不仅可用于对微电子、微机械等细微结构的形貌测量,也可用于大型机械部件的形貌测量,在工业生产中的应用十分广泛。形貌测...