相变薄膜论文

ZnO掺杂对ZnSb相变薄膜结构和电学特性的影响
论文摘要目的通过掺杂不同量的ZnO提升ZnSb相变薄膜的晶化温度和晶态膜电阻。方法采用磁控溅射双靶共溅方式制备不同含量ZnO掺杂的ZnSb薄膜,使用真空四探针设备原位测试薄膜电...