相位调控特性论文

基于相位调控特性的亚波长光栅结构的研究
论文摘要随着半导体技术的不断发展,亚波长光栅作为重要的光学功能元件,在光学领域得到了广泛的应用。亚波长光栅是由光栅介质（高折射率材料）与空气（低折射率）介质构成,光栅周期远小于...