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![静电驱动论文_肖奇军,罗忠辉]()
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![SU-8微针执行器的研究]()
秦宁[1]2004年在《SU-8微针执行器的研究》文中进行了进一步梳理生化微系统是MEMS的重要方向之一，而生化样品的微量取样和计量是生化分析过程的重要环节，微针执行器的研究因此受到关注。本文总结了国内外关于微针执行器的研究，提出了一种新的设计方案。作者设计了一种用于生化样品的微量计量和采样的电磁驱...
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刘庆辉[1]2004年在《基于MEMS的声表面波器件设计与制作的关键技术研究》文中研究指明频率高、体积小、功能多、稳定性好、易于批量生产的声表面波器件,以其独特的性能,成为与大规模集成电路、电荷耦合器件并列的叁大固体微电子器件之一,在移动通信、航空航天、电子对抗等军用和民用领域得到了广泛应用。新兴的...
