• 侧面逐层抛光腐蚀法研究亚表面损伤

    侧面逐层抛光腐蚀法研究亚表面损伤

    论文摘要目的直接测量加工后工件的亚表面损伤,观察亚表面裂纹整体形貌与扩展情况,探究不同载荷下工件的亚表面损伤形貌及损伤深度,指导加工工艺设计,减小加工后工件的亚表面损伤。方法通...
  • 光学玻璃亚表面损伤深度预测及实验研究

    光学玻璃亚表面损伤深度预测及实验研究

    论文摘要为了进一步揭示超声振动辅助磨削加工机理,建立了超声振动辅助磨削亚表面损伤深度与断裂韧性的预测模型,设计几何形状随机的单颗磨粒超声振动压痕实验和超声振动辅助磨削实验,调查...
  • 单晶硅反射镜的超精密磨削工艺

    单晶硅反射镜的超精密磨削工艺

    论文摘要为了实现单晶硅反射镜高效低损伤的超精密加工,研究了基于工件旋转法磨削原理的单晶硅反射镜超精密磨削工艺。通过形貌检测和成份测试的方法分析了该工艺采用的超细粒度金刚石砂轮的...