压电致动器论文

压电陶瓷驱动器建模与控制技术的研究
论文摘要由于压电致动器（PA）具有高带宽、高纳米位移分辨率和零机械摩擦等优点,其广泛应用于微/纳米操作、微/纳米定位和光学系统。然而,压电致动器的迟滞非线性却严重影响了其跟踪定...