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基于SPR技术的ITO薄膜气敏特性研究
论文摘要氧化铟锡(ITO)是一种N型半导体材料,相比于其他金属氧化物,ITO具有抗腐蚀、透光率高、导电性好等特点,广泛应用于屏幕显示领域。ITO的两种组成成分In2O3与SnO...
具有ITO电极的QCM设计与性能研究
论文摘要为了提高石英晶体微天平(QCM)的检测灵敏度,提出了一种具有氧化铟锡(ITO)电极结构的QCM。利用有限元分析软件在QCM芯片电极区采用密度等效法实现计算量的简化,在通...