研磨盘论文

基于ANSYS Workbench的铜质研磨盘热结构耦合分析
论文摘要在研磨氧化镓晶片时,由于铜质研磨盘的导热系数和热膨胀率较大,因此研磨盘各个部位的热变形量也会因为温度的不同而不同。通常在加工前需要对研磨盘加工时的变形量进行预测,并对研...