摇摆曲线半高宽论文

用高分辨X射线衍射面扫描评估4H-SiC晶片结晶质量
论文摘要介绍了高分辨X射线衍射（HRXRD）面扫描技术在评估4H-SiC抛光片整体结晶质量方面的应用。对4H-SiC抛光片整片及局部特定位置进行HRXRD摇摆曲线面扫描,并拟合...