氩气压力论文

氩气压力对螺旋波放电影响的发射光谱诊断及仿真研究
论文摘要螺旋波等离子体源以其高电离效率与高密度优势受到多个领域的青睐。螺旋波放电高电离效率的机理或者功率耦合模式,一直是困扰该领域学者的难点之一,对于放电过程与特性的诊断则是揭...