压阻式压力传感器论文

冲击波超压传感器研究现状
论文摘要冲击波超压传感器是测量爆炸冲击波压力特征参数的关键设备,目前一般采用压阻式和压电式传感器。我国近年来对于冲击波超压传感器的研究取得了一定的进展,但是相对于国外来说还是较...
新型硅压阻式压力传感器的设计、制作与性能补偿研究
论文摘要为兼顾高灵敏度与低非线性误差,针对性地设计和研究了一种量程为105kPa的新型MEMS硅压阻式压力传感器,该传感器通过部分刻蚀SOI硅膜引入了凸起的压敏电阻和L形半岛结...