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微型振动式发电机的基础理论及关键技术研究
温中泉[1]2003年在《微型振动式发电机的基础理论及关键技术研究》文中进行了进一步梳理微电源是MEMS技术发展最重要的研究方向之一,随着MEMS技术的迅速发展和成熟,微电源已成为该领域急待研究解决的关键问题,是实现MEMS传感器、执行器和微系统独立工作最重要的关键基础部件。尽管各种微电源已经面世,...