• CVD样品台旋转对沉积金刚石涂层的影响

    CVD样品台旋转对沉积金刚石涂层的影响

    论文摘要以CH3COCH3和H2为反应气源,利用热丝化学气相沉积(HFCVD)方法,通过改变样品台的旋转频率在YG6硬质合金(WC-6wt%Co)基体上沉积金刚石涂层。利用X射...