乙硼烷论文

氮等离子体处理的抑制用于改善钨填充（英文）
论文摘要在体钨生长过程中使用原位氮等离子体处理成功实现了无孔洞钨填充。通过氮等离子体处理,钨转化成了氮化钨,其作为抑制剂引起结构顶部钨薄膜的生长延迟。因此,消除了结构顶部薄膜封...
2019:中国气体
论文摘要回顾了2019年中国气体行业的现状,对于我国各类主要电子气体做了详细的介绍,对未来中国气体产业发展进行了简要预测。论文目录0引言1标准气体2电子气体2.1高纯氨2.2高...