仪器数字掩模投影光刻论文

数字掩模投影光刻的极限分辨率研究
论文摘要研究了一种基于数字微镜器件(DMD)的数字掩模投影光刻(DMPL)技术,以400nm飞秒激光作为光源,结合高缩放比投影系统,来缩小光刻胶与光子束的反应区域,通过调控不同...