原子层沉积技术论文

论文摘要研究了退火温度对原子层沉积（ALD）生长的铝掺杂氧化锌（AZO）薄膜光电性能的影响,结果发现:AZO薄膜在600℃退火后,X射线衍射峰的半峰全宽从未退火时的0.609°...