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多晶硅还原炉系统余热回收利用
论文摘要高纯的SiHCl3与H2在还原炉内1100℃左右高温下发生化学气相沉积反应,在硅芯上沉积而生成多晶硅,还原炉是多晶硅生产中电耗最高的设备,本文通过利用高温热水对还原炉的...
铸造车间热处理炉烟气余热回用系统设计
论文摘要燃气热处理炉余热回收是一项绿色、高效的余热利用技术,本文阐述了铸造车间热处理炉烟气余热回用系统原理和设备布置方案,介绍了烟气余热收集系统、主循环系统、软化水系统、生活热...