窄流道论文

窄流道式MOCVD制备YGBCO超导层研究
论文摘要金属有机化学气相沉积能连续、快速的沉积高温超导带材YBa2Cu3O7-x（YBCO）超导层。但金属有机源的利用率与薄膜沉积速率以及沉积一致性难以兼顾,制备YBCO高温超...