长焦深论文

飞秒激光通过高倍物镜加工中的全息散焦控制
论文摘要飞秒激光通过高NA值的物镜进行表面微加工时,过短的焦深会影响加工性能。分析了高倍物镜所带校正环对焦点的离散作用,提出了一种利用空间光调制器(SLM)进行全息散焦控制的方...