振动灵敏度论文

一种具有低振动灵敏度和宽动态范围的MEMS陀螺仪(英文)
论文摘要为了进一步提高MEMS陀螺的动态范围和振动环境适应性,以加速其工程化应用步伐,研究了陀螺振动误差,提出了一种新型MEMS陀螺结构。MEMS陀螺仍然采用了音叉结构形式,同...