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电弧离子镀/磁控溅射复合真空退火制备Ti2AlC涂层
论文摘要采用自主研发的大弧源技术,复合中频磁控溅射石墨靶,避免H元素的引入,在锆合金表面快速沉积了致密、超厚(约20μm)的Ti–Al–C涂层。经过不同温度(550、650、7...