直拉硅单晶论文

直拉硅单晶的杂质工程:微量掺锗的效应
论文摘要直拉硅单晶是集成电路的基础材料,因而在过去几十年来被广泛而深入研究.直拉硅单晶的缺陷以及机械强度对集成电路制造的成品率有显著的影响.传统上,人们认为直拉硅单晶中除了掺杂...