直流磁控溅射技术论文

磁控溅射低温制备高电导高透明氢掺杂薄膜
论文摘要通过分析直流磁控溅射技术低温制备高电导和高透明的氢掺杂AZO薄膜实验,明确了溅射技术对于低温制备AZO薄膜的重要作用。由此可以证明,引入适量氢气,有利于提升AZO薄膜的...