制造及检测技术论文

喻洪麟[1]2003年在《计量圆光栅的原理、制造及检测技术研究》文中提出高精度计量圆光栅，是近代光电测角仪器和测角技术的重要基础元件。以计量圆光栅为核心部件组成的光电传感器，可将输入的机械量转换成相应的数字量，与数显装置或计算机连接构成测量、控制系统，易于实现机器及仪器的自动测量、数字测量与数字控制...