中频直流磁控溅射论文

氩离子轰击对中频-直流磁控溅射铝薄膜耐蚀性能的影响
论文摘要目的研究氩离子轰击这种后处理工艺对TC4钛合金表面铝膜层结构和耐蚀性能的影响,为飞机钛合金紧固件的表面腐蚀防护工作提供理论依据。方法首先采用中频-直流相结合的磁控溅射离...