轴线偏移论文

轴线偏移对微纳力测量结果的影响研究
论文摘要针对在微纳力测量过程中所广泛采用的圆筒状电容结构,采用有限元方法,研究了不同条件下圆筒状电容装置轴线偏移对输出微纳力测量结果的影响。重点分析了当圆筒状电容内外电极相交长...