自源笼形空心阴极放电论文

偏压对自源笼形空心阴极放电制备Si-DLC薄膜结构和性能的影响
论文摘要针对利用笼形空心阴极放电在大工件表面制备DLC薄膜时,笼网内大工件操作困难、大工件影响放电的问题,开发了自源笼形空心阴极放电方法,在不同偏压（-300～0V）条件下于S...