总剂量电离辐射论文

论文摘要该文制备了TiN/Hf0.5Zr0.5O2（HZO）/HfO2/Si（MFIS）型的铁电晶体管栅结构,并在常规实验环境下对其进行了P-E、J-E、疲劳和保持等的电学性能...